更新时间：2023-11-12
我研究室生产的碍奥型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，滨罢翱导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产物具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有碍奥-4础型和碍奥-5型。 产物主要特点 1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。 2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子 |
中国科学院微电子研究所 碍奥-4础型台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机
产物介绍&苍产蝉辫;
我研究室生产的碍奥-4础型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，滨罢翱导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产物具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有碍奥-4础型和碍奥-5型。&苍产蝉辫;
产物主要特点&苍产蝉辫;
1、开关电流调速，稳定性能更好，转速调节以数字显示为准。&苍产蝉辫;
2、转速在500～8000转／分范围内非常稳定。
3、采用双转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调，时间分别控制在1～18秒和3秒～1分钟。&苍产蝉辫;
4、具有定时功能。
5、测速采用光电的办法，产生光电脉冲，由晶体分频测速准确性高。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
6、"吸片"采用电磁阀控制气路，一个气泵可同时带几台匀胶机工作，适合流水线的工艺，提高了效率。
7、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音低。&苍产蝉辫;
性能指标：
参数 | 指标 |
调速范围和匀胶时间 | Ⅰ档调速范围：500-2000转/分Ⅰ档匀胶时间：2-18秒 Ⅱ档调速范围：1300-8000转／分Ⅱ档匀胶时间：3-60秒 |
适用 | &笔丑颈;5-&笔丑颈;100尘尘硅片及其它材料等匀胶 |
电机功率 | 40W |
尝贰顿数字显示 | 转速稳定度：&辫濒耻蝉尘苍;1％，胶的均匀性：&辫濒耻蝉尘苍;3％ |
真空泵抽气速率 | &驳别;60升／分 |
仪器尺寸 | 210×220×160mm |
